| Subject | English | German |
| microel. | leave up to ten unexposed rectangular areas within the array for non-primary patterns | bis zu zehn unbelichtete rechteckige Flächen innerhalb der Matrix für Teststrukturen freilassen |
| el. | rectangular array | Koppeleinrichtung in Rechteckstruktur |
| el. | rectangular array | Koppelmatrix in Rechteckstruktur |
| el. | rectangular array | Rechteckkoppeleinrichtung |
| comp. | rectangular array | rechteckiges Feld |
