| Subject | English | German |
| microel. | proving effect | Strom Verdrängungseffekt |
| microel. | proving effect | Proximity-Effekt (Nachbarschaftsbeeinflussung durch diffuse Rückstreuung der Elektronen) |
| microel. | proving effect correction technique | Proximity-Effekt-Korrekturverfahren (für Resistexposition) |
| microel. | proving exposure effect | Belichtungseffekt durch Nachbarschaftsbeeinflussung |
| microel. | proving exposure effect | Proximitybelichtungseffekt |