| Subject | English | German |
| microel. | project stepper | Projektions- und Überdeckungsrepeater (stepping aligner) |
| microel. | project stepper | Wafer-Stepper (stepping aligner) |
| microel. | project stepper | Justier- und Belichtungsanlage mit Repeateinrichtung (stepping aligner) |
| microel. | project stepper | Scheibenrepeater (stepping aligner) |
| microel. | project stepper | Projektionsscheibenrepeater (stepping aligner) |