Terms containing positional accuracy

Subject	English	German
microel.	delineate smaller line widths with greater positional accuracy	kleinere Strukturbreiten mit höherer Lagegenauigkeit erzeugen
microel.	pattern positional accuracy	Strukturlagegenauigkeit
microel.	pattern positional accuracy	Strukturpositionsgenauigkeit
microel.	positional accuracy	Positionierungsgenauigkeit
microel.	positional accuracy	Positionsgenauigkeit
microel.	positional accuracy	Positioniergenauigkeit
life.sc.	positional accuracy	Lagegenauigkeit
microel.	positional accuracy requirements	Positioniergenauigkeitsanforderungen
microel.	positional accuracy within the drawing field	Positionsgenauigkeit innerhalb des Schreibfeldes
microel.	positional alignment accuracy	Positionsjustiergenauigkeit