Subject	English	German
gen.	etch pattern resolution	Ätzstrukturauflösung
microel.	high-resolution replication of the printed resist patterns	Vervielfältigung der belichteten Resiststrukturen mit hoher Auflösung
med.appl.	image resolution pattern	Bildauflösungsmuster
gen.	pattern resolution	Strukturauflösung
microel.	replication of high-resolution patterns	Vervielfältigung hochaufgelöster Strukturen
microel.	resolution test pattern	Auflösungsteststruktur
microel.	write patterns at high resolution	Strukturen mit hoher Auflösung schreiben