Terms containing pattern generation

Subject	English	German
microel.	pattern generation process	Strukturherstellungsverfahren (während des Schreibens einer Originalschablone)
IT, earth.sc.	pattern generation tape	Pattern Generation-Band
microel.	pattern generation time	Strukturherstellungszeit
microel.	primary pattern generation with a serial electron beam	Primärstrukturerzeugung mit einem seriellen Elektronenstrahl