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pattern area
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Subject
English
German
microel.
large-area-area pattern
großflächige Struktur
microel.
leave up to ten unexposed rectangular areas within the array for non-primary patterns
bis zu zehn unbelichtete rechteckige Flächen innerhalb der Matrix für Teststrukturen freilassen
textile
pattern area
Mustergrösse
microel.
percentage area of coverage by the pattern
Bedeckungsgrad
(Anteil der zu belichtenden Strukturfläche an der Gesamtfläche)
microel.
photocompose large area patterns
große Strukturen durch Bildfeldmontage zusammensetzen
microel.
replicate submicron patterns over large areas
Submikrometerstrukturen auf großen Flächen duplizieren
(reproduzieren)
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