| Subject | English | German |
| opt. | mask array | Schablonenfeld |
| opt. | mask array | Maskenfeld |
| comp. | mask-programmable logic array | maskenprogrammierbare Logikanordnung |
| microel. | rectilinear array of a mask | Schablonenfeld |
| microel. | step-and-repeat array distortion on the mask | Matrixverzerrung auf der vom Repeater hergestellten Maske |
