| Subject | English | German |
| microel. | advanced lithography technique | hochentwickeltes lithografisches Verfahren |
| microel. | advanced lithography technique | fortgeschrittene Lithografietechnik |
| microel. | advanced lithography technique | modernes lithografisches Verfahren |
| microel. | approach the limits of optical lithography | an die Grenzen der optischen Lithografie herankommen |
| gen. | chalk for lithography | Kreide für die Lithographie |
| polygr., model. | chalk lithography | Kreidelithographie |
| tech., industr., construct. | color lithography | Chromolithographie |
| amer. | color lithography | Farblithographie |
| tech., industr., construct. | colour lithography | Chromolithographie |
| brit. | colour lithography | Farblithographie |
| microel. | contact lithography | Kontaktlithografie |
| polygr. | direct lithography | Lithographiemethode (dilitho) |
| microel. | direct lithography on wafers | Direktbelichtung der Wafer im lithografischen Verfahren (s.a. direct writing on the wafer) |
| IT | direct-beam lithography | Direktstrahl-Lithographie |
| microel. | direct-step-on-wafer projection lithography equipment | Projektionsscheibenrepeater |
| microel. | direct-write electron-beam lithography | Elektronenstrahllithografie für direkte Waferbelichtung |
| microel. | DSW lithography equipment | Scheibenrepeater |
| microel. | E-beam lithography | Elektronenstrahllithografie |
| gen. | electron and X-ray beam lithography | Elektronen- und Röntgenstrahllithographie |
| comp. | electron beam direct-stepping-on-wafer lithography | Elektronenstrahllithografie mit direkter Layoutübertragung auf eine Halbleiterscheibe |
| phys. | electron beam lithography | Elektronenstrahllithographie |
| gen. | electron beam lithography | Elektronenlithografie Elektronenlithographie |
| gen. | electron lithography | Elektronenlithographie |
| microel. | electron lithography system | elektronenlithografische Anlage |
| microel. | electron-beam lithography | Elektronenstrahllithografie |
| microel. | electron-beam lithography machine | lithografische Elektronenstrahlbearbeitungsanlage |
| microel. | electron-beam lithography system | Elektronenstrahlschreiber |
| microel. | electron-beam lithography system | lithografische Elektronenstrahlanlage |
| IT | EUV lithography | EUV-Lithographie |
| microel. | extend the limits of performance for optical projection lithography | die Leistungsgrenzen für die optische Projektionslithografie ausdehnen |
| IT | extreme-ultra-violet lithography | EUV-Lithographie |
| commun. | facsimile by lithography | Umdrucklithographie |
| commun. | facsimile by lithography | Papierlithographie |
| commun. | facsimile by lithography | Autolithographie |
| commun. | facsimile by lithography | Autographie |
| microel. | fine line lithography | Mikrolinienlithografie |
| microel. | fine line lithography | Mikrostrukturlithografie |
| microel. | 1:1 full-wafer lithography | Lithografie mit globaler Waferbelichtung durch 1:1-Projektion |
| industr., construct., met. | glass for lithography | Glas für Klischees |
| industr., construct., met. | glass for lithography | Reproduktionsglas |
| industr., construct., met. | glass for lithography | Glas für Hyalografie Glas für Hyalographie |
| microel. | high-resolution electron-beam lithography | hochauflösende Elektronenstrahllithografie |
| microel. | hybrid lithography | Hybridlithografie |
| tech. | imprint lithography | Prägelithografie |
| tech. | imprint lithography | Nano-Prägelithographie |
| microel. | integrated circuit lithography | Lithografie zur Herstellung integrierter Schaltkreise |
| microel. | ion lithography | Ionenstrahllithografie |
| microel. | ion lithography | Ionenlithografie |
| phys. | ion-beam lithography | Ionenstrahllithographie |
| microel. | ion-beam lithography | Ionenstrahllithografie |
| IT | laser lithography | Laserlithographie |
| IT | laser-sharp lithography | laserscharfe Lithographie |
| microel. | limitation of optical lithography | Beschränkung der Fotolithografie |
| nat.sc. | lithography, electroforming and moulding | Lithographie, Galvanoformung und Abformtechnik |
| microel. | lithography machine | lithografisches Gerät |
| IT | lithography mask | Lithographiemask |
| microel. | lithography system | lithografische Anlage |
| microel. | misregistration between lithography processes in wafer fabrication | fehlerhafte Justierung zwischen lithografischen Prozessen in der Waferherstellung |
| commun. | offset lithography | Offsetdruckverfahren |
| commun. | offset lithography | Offset |
| commun. | offset lithography | Offsetdruck |
| polygr. | offset lithography | Offsetlithographie |
| microel. | optical lithography | Fotolithografie |
| microel. | optical lithography | Licht-Fotolithografie |
| gen. | optical lithography | optische Lithographie |
| gen. | optical lithography equipment | Einrichtungen für die optische Lithographie |
| gen. | optical lithography tools | optische lithographische Werkzeuge |
| microel. | optical projection lithography | Lichtprojektionslithografie |
| microel. | optical 1:1 projection lithography system | fotolithografische 1:1-Projektionsanlage |
| microel. | optical stepper lithography | Fotolithografie mit Step-und-Repeat-Verfahren |
| microel. | performance limit in projection lithography | Leistungsgrenze in der Projektionslithografie |
| el. | photo-lithography | Photolithographie |
| el. | photo-lithography | Fotolithografie |
| el. | photo-lithography | Fotolithografie Photolithographie |
| microel. | photooptical lithography | Fotolithografie |
| microel. | photooptical lithography | lichtoptische Lithografie |
| microel. | 2.5-p.m lithography | Lithografie für Strukturbreiten von 2,5 μm |
| microel. | point source lithography system | lithografische Anlage mit punktförmiger Strahlungsquelle |
| microel. | project step-and-repeat electron-beam lithography machine | elektronenstrahllithografische Projektions-Step-und-Repeat-Anlage |
| microel. | proving lithography | Quasikontaktlithografie (auf dem Abstandsverfahren beruhend) |
| microel. | pulsed X-ray lithography | Impulsröntgenlithografie |
| microel. | scanning electron-beam lithography | Rasterelektronenstrahllithografie |
| microel. | serial electron-beam lithography | serielle Elektronenstrahllithografie |
| microel. | step-and-repeat optical lithography system | fotolithografische Repeateranlage |
| microel. | step-and-repeat optical lithography system | lithografische Fotorepeateranlage |
| microel. | step-and-repeat projection lithography system | lithografische Projektionsanlage mit Step-und-Repeat-Einrichtung |
| IT | stored programme controlled lithography | speicherprogrammierbare Lithographie |
| tech. | submicron lithography | Lithographie im Submikronbereich |
| tech. | submicron lithography | ... im Submikrometerbereich |
| microel. | very fine line lithography | Lithografie sehr kleiner Strukturbreiten |
| microel. | viable lithography tool | konkurrenzfähige lithografische Anlage |
| microel. | wafer stepping lithography | Lithografie für 1:1-Strukturübertragung auf Wafer |
| phys. | X-ray lithography | Röntgenlithographie |
| microel. | X-ray lithography | Röntgenlithografie |
| microel. | X-ray lithography | Röntgenstrahllithografie |
| tech. | X-ray lithography | Röntgenstrahl-Lithographie |
| microel. | X-ray lithography alignment station | röntgenlithografische Justier- und Belichtungsanlage |
| microel. | X-ray lithography alignment station | röntgenlithografische Justieranlage für Waferstrukturierung |
| microel. | X-ray lithography exposure machine system | röntgenlithografische Belichtungsanlage |
| microel. | X-ray lithography machine | röntgenlithografisches Gerät |
| microel. | X-ray lithography mask | Schattenmaske |
| microel. | X-ray lithography mask | Röntgenmaske |
| microel. | X-ray lithography system | röntgenlithografische Anlage |