Terms containing line width variation

Subject	English	German
microel.	intrachip line width variation	Linienbreiteschwankung innerhalb eines Chips
microel.	line width variation	Schwankung fder Linienbreite
microel.	line width variation	Änderung fder Linienbreite
microel.	line width variation	Linienbreiteschwankung
microel.	resist line width variation over steps	Resistlinienbreiteänderung über Stufen
microel.	variation in line width	Schwankung fder Linienbreite