| Subject | English | German |
| microel. | ion-beam etching | Ionenstrahlätzen (Zusammensetzungen s.a. unter ion milling) |
| microel. | ion-beam etching technique | Ionenstrahlätzverfahren |
| microel. | reactive ion-beam etching | reaktives Ionenstrahlätzen |
| tech., chem. | reactive ion-beam etching RIBE | Reactive Ion-Beam Etching |