Terms containing ion etching

Subject	English	German
microel.	directionality of the etching ions	Richtungsfähigkeit der Ätzionen
el.	ion etching	Ionenätzung
microel.	ion etching	Ionenstrahlätzen
microel.	ion-assisted plasma etching	reaktives Ionenätzen
microel.	ion-beam etching	Ionenstrahlätzen (Zusammensetzungen s.a. unter ion milling)
microel.	ion-beam etching technique	Ionenstrahlätzverfahren
IT, el.	reactive ion deposition and etching	reaktives Ionenabscheiden und-ätzen
IT, el.	reactive ion etching	reaktives Ionenätzen
gen.	reactive ion etching	Reaktiv-Ionen-Ätzen
microel.	reactive ion-beam etching	reaktives Ionenstrahlätzen
tech., chem.	reactive ion-beam etching RIBE	Reactive Ion-Beam Etching