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SubjectEnglishGerman
opt.field widthGesichtsfeldbreite
tech.field widthFeldbreite
tech.field widthFeldweite
comp.field widthFeldlänge
microel.scan an arc-shaped image field of 1 mm width across the waferein bogenförmiges Bildfeld von 1 mm Breite rasterartig über den Wafer führen

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