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Subject
English
German
microel.
average
feature size
durchschnittliche Elementgröße
microel.
component
feature size
Bauelementstrukturgröße
microel.
contain the complete pattern for all dice at the actual size of the final features
die vollständige Struktur für alle Chips in natürlicher Größe der endgültigen Strukturelemente enthalten
(1 ×)
microel.
device
feature size
Bauelementstrukturgröße
microel.
extendability of E-beam technology to smaller
feature sizes
Erweiterungsfähigkeit der Elektronenstrahltechnik auf kleinere Strukturgrößen
microel.
feature size
Elementbreite
microel.
feature size
Linienbreite
commun.
feature size
Elementbreite
(microcircuits)
gen.
feature size
Kenngröße
gen.
feature size
Merkmalsgrösse
commun.
feature size
Strukturgröße
(microcircuits)
microel.
feature size
Strukturgröße
microel.
feature size
control
Einhaltung der Strukturbreite
microel.
feature size
evolution
Elementgrößenentwicklung
microel.
feature size
measurement
Linienbreitemessung
microel.
feature size
shrinkage
Verkleinerung der Linienbreite
microel.
fineness of
feature size
Feinheit der Strukturgröße
microel.
limiting
feature size
kleinste nutzbare Strukturbreite
microel.
loss in
feature size
Verringerung der Strukturbreite
microel.
maintain a constant resist
feature size
eine konstante Linienbreite im Resist einhalten
IT
1 micron minimum
feature size
components
Bauelemente mit Linienbreiten von 1 Mikrometer
microel.
minimum
feature size
minimale Elementbreite
microel.
minimum
feature size
kleinste Strukturbreite
microel.
minimum resolvable
feature size
kleinste auflösbare Linienbreite
(Strukturgröße)
microel.
minimum usable
feature size
kleinste nutzbare Elementgröße
(Strukturbreite)
microel.
minimum-size feature
kleinstes Strukturelement
microel.
pattern with
feature sizes
to 0.5 micron
Struktur mit Elementgrößen bis zu 0,5 Mikrometer
microel.
printable
feature size
belichtbare Elementbreite
gen.
process steps for submicron
feature sizes
Prozessschritte für Submikrometer-Merkmalausdehnung
microel.
replication of features down to the submicron size
Reproduzierung von Strukturelementen bis in den Submikrometerbereich
microel.
resolvable
feature size
of 1 μm
auflösbare Linienbreite von 1 μm
microel.
submicron minimum
feature size
kleinste Strukturbreite im Submikrometerbereich
microel.
usable
feature size
in the 1.0-2.0 micrometre range
nutzbare Elementgröße firn 1- bis 2-μm-Bereich
microel.
usable
feature size
in the 1.0-2.0 micrometre range
nutzbare Linienbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich
microel.
usable
feature size
in the 1.0-2.0 micrometre range
nutzbare Strukturbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich
microel.
vary the spot size and shape as the feature requires
Durchmesser und Form des Strahlquerschnitts entsprechend dem Strukturelement verändern
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