| Subject | English | German |
| microel. | exposure technique | Belichtungsverfahren |
| med.appl. | exposure technique | Belichtungstechnik |
| gen. | exposure technique | Aufnahmetechnik |
| microel. | hybrid exposure technique | Hybridbelichtungsverfahren (mit Elektronen- und Röntgenstrahlen) |
| microel. | serial exposure technique | serielle Belichtungstechnik |