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Terms containing electron-beam lithography | all forms | in specified order only
SubjectEnglishGerman
microel.direct-write electron-beam lithographyElektronenstrahllithografie für direkte Waferbelichtung
gen.electron and X-ray beam lithographyElektronen- und Röntgenstrahllithographie
comp.electron beam direct-stepping-on-wafer lithographyElektronenstrahllithografie mit direkter Layoutübertragung auf eine Halbleiterscheibe
phys.electron beam lithographyElektronenstrahllithographie
gen.electron beam lithographyElektronenlithografie Elektronenlithographie
microel.electron-beam lithographyElektronenstrahllithografie
microel.electron-beam lithography machinelithografische Elektronenstrahlbearbeitungsanlage
microel.electron-beam lithography systemElektronenstrahlschreiber
microel.electron-beam lithography systemlithografische Elektronenstrahlanlage
microel.high-resolution electron-beam lithographyhochauflösende Elektronenstrahllithografie
microel.project step-and-repeat electron-beam lithography machineelektronenstrahllithografische Projektions-Step-und-Repeat-Anlage
microel.scanning electron-beam lithographyRasterelektronenstrahllithografie
microel.serial electron-beam lithographyserielle Elektronenstrahllithografie

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