| Subject | English | German |
| microel. | advent of electron-beam microfabrication | Einführung der ES-Mikrostrukturherstellung |
| earth.sc. | beam of electrons | Elektronenstrahlen |
| gen. | beam of electrons | Elektronenstrahl |
| tech. | bending coil for electron beam | Kruemmungsspule |
| tech. | bending coil for electron beam | Beugungsspule |
| earth.sc. | circular electron beam apparatus | Gerät mit kreisförmigem Elektronenstrahl |
| microel. | computer control of electron beams for maskless fabrication | Computersteuerung von Elektronenstrahlen für maskenlose Strukturherstellung |
| microel. | computer-driven scanned electron beam | computergesteuerter Rasterelektronenstrahl |
| phys. | convergent-beam electron diffraction | Beugung konvergenter Elektronstrahlen |
| hi.energ. | cryogenic electron beam ion source | kryogene Elektronenstrahlquelle |
| hi.energ. | cryogenic electron beam ion source | kryogene Elektronenstrahl-Ionenquelle |
| microel. | deflect the electron beam along the y axis den | Elektronenstrahl in y-Richtung ablenken |
| microel. | deflect the electron beam in a raster mode along one axis | den Elektronenstrahl rasterartig in einer Richtung ablenken |
| microel. | deflect the electron beam in a raster over a 64μm square field | den Elektronenstrahl rasterförmig über ein Feld von 64 μm × 64 μm ablenken |
| microel. | demagnify the electron beam to a usable size for microfabrication | den Elektronenstrahl auf eine nutzbare Größe für die Mikrostrukturherstellung verkleinern |
| meas.inst. | density of an electron beam | Dichte eines Elektronenstrahls |
| antenn. | density of an electron beam | Dichte eines Elektronenstrahles |
| IT | digital code produced by an electron beam | durch Elektronenstrahl hergestellter Digitalcode |
| el. | direct electron beam recording | direkte Elektronenstrahl-Aufzeichnung |
| microel. | direct electron-beam exposure | direkte Elektronenstrahlbelichtung (von Wafern) |
| microel. | direct wafer exposure with electron beams | direkte Waferbelichtung mit Elektronenstrahlen |
| microel. | direct wafer patterning with an electron beam | direkte Waferstrukturierung mit einem Elektronenstrahl |
| microel. | direct wafer processing by with electron beam | direkte Waferbearbeitung mit Elektronenstrahl |
| microel. | direct wafer writing with an electron beam | ES-Direktschreiben |
| microel. | direct wafer writing with an electron beam | Direktschreiben mit einem Elektronenstrahl |
| microel. | direct writing of the device pattern with a scanning electron beam | Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl |
| microel. | direct writing with an electron beam | ES-Direktschreiben |
| microel. | direct writing with an electron beam | Direktschreiben mit einem Elektronenstrahl |
| microel. | direct-write electron beam | direktschreibender Elektronenstrahl |
| microel. | direct-write electron-beam lithography | Elektronenstrahllithografie für direkte Waferbelichtung |
| microel. | direct-write-on-wafer electron-beam machine | Elektronenstrahldirektschreiber |
| microel. | direct-writing electron-beam system | Elektronenstrahldirektschreiber |
| microel. | direct-writing electron-beam technology | Elektronenstrahldirektschreibertechnik |
| microel. | dwell time of an electron beam | Verweilzeit eines Elektronenstrahls |
| gen. | electron and X-ray beam lithography | Elektronen- und Röntgenstrahllithographie |
| tech. | electron beam | Elektronenbuendel |
| phys. | electron beam | Kathodenstrahl |
| phys. | electron beam | Katodenstrahl |
| earth.sc. | electron beam | Elektronenstrahlen |
| gen. | electron beam | Elektronenstrahl |
| antenn. | electron beam | Elektronenbündel |
| phys. | electron beam acceleration | Elektronenstrahlbeschleunigung |
| hi.energ. | electron beam acceleration of ions | Elektronenstrahlbeschleunigung von Ionen |
| busin., IT | electron beam addressable memory | Elektronenstrahlspeicher |
| busin., IT | electron beam-addressable memory | Elektronenstrahlspeicher |
| phys. | electron beam annealing | Elektronenstrahlhärten |
| phys. | electron beam assisted deposition | elektronenstrahlunterstützte Abscheidung |
| opt. | electron beam axis | Elektronenstrahlachse |
| IT, el. | electron beam bonding | Elektronenstrahlbonden |
| hi.energ. | electron beam bunch | Elektronenpaket |
| phys. | electron beam coherence | Elektronenstrahlkohärenz |
| el. | electron beam color-film recording | Farbfilm-Elektronenstrahlaufzeichnung |
| el. | electron beam colour-film recording | Farbfilm-Elektronenstrahlaufzeichnung |
| phys. | electron beam curing | Elektronenstrahlhärtung |
| earth.sc. | electron beam curing | Elektronenstrahlaushärtung |
| hi.energ. | electron beam current | Stromstärke des Elektronenstrahls |
| hi.energ. | electron beam current | Elektronenstrahlstrom |
| tech. | electron beam cutting | Elektronenstrahlschneiden |
| met. | electron beam cutting | Elektronenstrahl-Schneiden |
| el. | electron beam d.c.resistance | Elektronenstrahl-Gleichstromwiderstand |
| phys. | electron beam deflection | Elektronenstrahlablenkung |
| therm.energ. | electron beam deflection system | Elektronenstrahl-Ablenksystem |
| microel. | electron beam delineator | Elektronenstrahlschreiber |
| phys. | electron beam deposition | Elektronenstrahlabscheidung |
| radiat. | electron beam diffraction | Abbeugen von Elektronenstrahlen |
| nucl.phys., radiat. | electron beam diffraction | Elektronenbeugung |
| radiat. | electron beam diffraction | Elektronenstrahlbeugung |
| radiat. | electron beam diffraction | Beugung von Elektronenstrahlen |
| microel. | electron beam direct slice writing | Elektronenstrahldirektschreiben auf Wafer |
| comp. | electron beam direct-stepping-on-wafer lithography | Elektronenstrahllithografie mit direkter Layoutübertragung auf eine Halbleiterscheibe |
| gen. | electron beam direct-writing equipment | Elektronenstrahlmaschinen |
| microel. | electron beam direct-writing lithographic system | lithografische Elektronenstrahlanlage für direkte Scheibenbelichtung |
| opt. | electron beam drilling | Bohren mit Hilfe eines Elektronenstrahls |
| earth.sc., met. | electron beam drilling | Elektronenstrahlbohren |
| phys. | electron beam effect | Elektronenstrahleffekt |
| met. | electron beam evaporation | Elektronenstrahlverdampfung |
| microel. | electron beam-exposed | elektronenstrahlbelichtet |
| microel. | electron beam exposure system | Elektronenstrahlbelichtungsanlage |
| microel. | electron beam exposure unit | Elektronenstrahlbelichtungsanlage |
| phys. | electron beam focusing | Elektronenstrahlfokussierung |
| phys. | electron beam focussing | Elektronenstrahlfokussierung |
| gen. | electron beam for direct writing on wafer | Elektronenstrahl-Direktschreiben auf dem Wafer |
| therm.energ. | electron beam furnace | Elektronenstrahlofen |
| opt. | electron beam generating system | Elektronenstrahlerzeugungssystem |
| earth.sc., met. | electron beam gun | Elektronenstrahlmaschine |
| nucl.phys. | electron beam gun | EB Elektronenstrahlkanone |
| earth.sc., met. | electron beam gun | Elektronenstrahlkanone |
| earth.sc., met. | electron beam gun | Elektronenstrahlerzeuger |
| therm.energ. | electron beam heater | Elektronenstrahlheizer |
| therm.energ. | electron beam heating | Elektronenstrahlerwärmung |
| therm.energ. | electron beam heating equipment | Elektronenstrahl-Erwärmungseinrichtung |
| commun. | electron beam image recorder | Elektronenstrahlbelichter |
| phys. | electron beam induced conductivity | elektronenstrahlinduzierte Leitfähigkeit |
| phys. | electron beam induced current | elektronenstrahlinduzierter Strom |
| hi.energ. | electron beam injection | Elektronenstrahlinjektion |
| hi.energ. | electron beam injection | Elektronenstrahleinschuß |
| opt. | electron beam instrument | Elektronenstrahlgerät |
| phys. | electron beam interference | Elektroneninterferenz |
| hi.energ. | electron beam ion source | Elektronenstrahlquelle |
| hi.energ. | electron beam ion source | Elektronenstrahl-Ionenquelle |
| phys. | electron beam lithography | Elektronenstrahllithographie |
| gen. | electron beam lithography | Elektronenlithografie Elektronenlithographie |
| el. | electron beam machine | Elektronenstrahlmaschine |
| earth.sc., met. | electron beam machine | Elektronenstrahlkanone |
| earth.sc., met. | electron beam machine | Elektronenstrahlerzeuger |
| microel. | electron beam machine for direct wafer processing | Elektronenstrahlanlage für direkte Waferbelichtung |
| met. | Electron Beam Machining | Elektronenstrahlbearbeitung |
| phys. | electron beam magnetron | Elektronenstrahlmagnetron |
| microel. | electron beam mask drawing | elektronenlithografische Maskenstrukturierung |
| microel. | electron beam mask drawing | Elektronenstrahl-schreiben der Maskenstruktur |
| microel. | electron beam mask writing system | Elektronenstrahlmaskenschreiber |
| el. | electron beam melting | Elektronenstrahlschmelzen |
| construct. | electron beam melting | Elektronenstrahlsintern (3D-Druck) |
| met., el. | electron beam melting furnace | Elektronenstrahl-Schmelzofen |
| met., el. | electron beam melting furnace | Elektronenstrahlofen |
| tech. | electron beam melting furnace | Elektronenstrahlschmelzofen |
| phys. | electron beam melting process | Elektronenstrahlschmelzverfahren |
| microel. | electron beam microfabricator | Elektronenstrahlbearbeitungsanlage für Mikroschaltkreise |
| therm.energ. | electron beam micromachine | Elektronenstrahl-Mikrobearbeitung |
| gen. | electron beam microscope | Elektronenstrahlmikroskop |
| microel. | electron beam of Gaussian shape | Punktstrahl |
| med.appl. | electron beam oscilloscope | Elektronenstrahloszilloskop |
| opt. | electron beam path | Elektronenstrahlengang |
| microel. | electron beam pattern generator | Elektronenstrahlbildgenerator |
| microel. | electron beam patterning at final size | Elektronenstrahlstrukturierung in endgültiger Größe |
| earth.sc. | electron beam physical vapour deposition | PVD-Beschichten mittels Elektronenstrahl |
| earth.sc. | electron beam physical vapour deposition | physikalische Beschichtung aus der Gasphase durch thermisches Verdampfen (EB-PVD) |
| biol. | electron beam physical vapour deposition | physikalische Beschichtung aus der Dampfphase mittels Elektronenstrahl |
| earth.sc. | electron beam probe | Elektronenstrahlsonde |
| gen. | electron beam probe microanalysis | Elektronensonde-Microanalyse |
| met. | electron beam procedure | Elektronenstrahlverfahren |
| phys. | electron beam production | Elektronenstrahlerzeugung |
| phys. | electron beam propagation | Elektronenstrahlausbreitung |
| microel. | electron beam recorder | Elektronenstrahlaufzeichner |
| radiogr. | electron beam recording technique | Speicherung mittels Elektronenstrahl (im Vakuum) |
| radiogr. | electron beam recording technique | EBR-Verfahren |
| automat. | electron beam remelting process | Elektronenstrahlumschmelzverfahren |
| microel. | electron beam resist | elektronenempfindliches Resist |
| microel. | electron beam reticle generator | Elektronenstrahlretikelgenerator |
| opt. | electron beam scanning | Abtastung durch Elektronenstrahl |
| therm.energ. | electron beam scanning system | Elektronenstrahl-Abtastsystem |
| microel. | electron beam-sensitive | elektronenstrahlempfindlich (Resist) |
| earth.sc., met. | electron beam slitting | Elektronenstrahlschlitzen |
| opt. | electron beam spot size | Größe des Elektronenstrahlflecks (Elektronenstrahlpunktes) |
| tech. | electron beam sterilization | Sterilisation durch Elektronen |
| microel. | electron beam system for mask making | Elektronenstrahlmaskenschreiber |
| microel. | electron beam system for mask making | Elektronenstrahlanlage für Maskenschreiben |
| IT, el. | electron beam technology | Elektronenstrahltechnik |
| comp. | electron beam technology | Elektronenstrahltechnologie |
| nucl.phys., radiogr. | electron beam therapy | Elektronentherapie |
| phys. | electron beam tube | Braunsche Röhre |
| phys. | electron beam tube | Kathodenstrahlrohr |
| phys. | electron beam tube | Katodenstrahlrohr |
| el. | electron beam tube | Elektronenstrahlröhre |
| tech. | electron beam tube | Elektronenstrahlroehre |
| el. | electron beam valve | Elektronenstrahlröhre |
| automat. | electron beam weld joint | elektronenstrahlgeschweißte Verbindung |
| automat. | electron beam weld joint | Elektronenstrahlschwaißverbindung |
| met. | electron beam welded | EB-geschweißt |
| met. | electron beam welded | Elektronenstrahl-geschweißt |
| automat. | electron beam welded joint | elektronenstrahlgeschweißte Verbindung |
| automat. | electron beam welded joint | Elektronenstrahlschwaißverbindung |
| tech. | electron beam welding | Elektronenstrahlschweißen |
| gen. | high-energy electron beam welding | Hochenergie-Elektronenstrahlschweisse |
| el. | electron beam welding machine | Elektronenstrahlschweissmaschine |
| automat. | electron beam welding parameters | Elektronenstrahlschweißparameter |
| automat. | electron beam welding technique | Elektronenstrahlschweißtechnik |
| automat. | electron beam welding technology | Elektronenstrahlschweißtechnologie |
| IT | electron beam writing | Elektronenstrahl-Schreiben |
| microel. | electron beam writing instrument | Elektronenstrahldirektschreiber |
| microel. | electron beam writing instrument | Elektronenstrahlschreiber |
| microel. | electron beam writing machine | Elektronenstrahldirektschreiber |
| microel. | electron beam writing machine | Elektronenstrahlschreiber |
| tech. | electron gun for flat beams | Elektronenflachstrahlkanone |
| opt. | electron scanning beam | Elektronenabtaststrahl |
| IT, el. | electron-beam | Elektronenstrahl |
| microel. | electron-beam addressable memory | elektronenstrahladressierbarer Speicher |
| microel. | electron-beam alignment technique | Elektronenstrahljustierverfahren |
| tech. | electron-beam and holographic-produced gratings | durch Elektronenstrahlen und durch Holographie erzeugte Raster |
| el. | electron-beam aperture | Strahlapertur |
| tech. | electron-beam bombardment | Elektronenbeschuss |
| tech. | electron-beam bombardment | Elektronenaufschlag |
| el. | electron-beam deflection system | Elektronenstrahl-Ablenksystem |
| microel. | electron-beam delineation machine | Elektronenstrahlschreiber |
| microel. | electron-beam delineation of submicron geometry devices | Elektronenstrahlschreiben von Bauelementstrukturen im Submikrometerbereich |
| microel. | electron-beam delineation system | Elektronenstrahlschreiber |
| microel. | electron-beam direct processing on wafers | Direktbelichtung der Wafer durch Elektronenstrahlen |
| microel. | electron-beam direct processing on wafers | Direktbearbeitung der Wafer durch Elektronenstrahlen |
| microel. | electron-beam direct-write machine | Elektronenstrahlbelichtungsanlage für direkte Waferstrukturierung |
| microel. | electron-beam direct-write machine | Elektronenstrahlschreiber |
| microel. | electron-beam direct-write-on-the-wafer | ES-Direkt schreiben auf Wafer |
| microel. | electron-beam direct-write-on-the-wafer | Elektronenstrahldirektschreiben auf Wafer |
| microel. | electron-beam direct-writing on the wafer | ES-Direktschreiben den Wafer |
| microel. | electron-beam direct-writing on the wafer | ES-Direktschreiben auf Wafer |
| microel. | electron-beam direct-writing wafer exposure equipment | Elektronenstrahl-Direktschreiberanlage |
| tech. | electron-beam dispersion | Elektronenstrahlzerstreuung |
| automat. | electron-beam distributor | Elektronenstrahlverteiler |
| microel. | electron-beam drawing area | Elektronenstrahlschreibfläche |
| microel. | electron-beam exposure for patterning | Elektronenstrahlbelichtung zur Strukturierung |
| tech. | electron-beam focusing | Elektronenstrahlkonzentration |
| met. | electron-beam furnace | Elektronenstrahlofen |
| tech. | electron-beam generator | Elektronenstrahlgenerator |
| met. | electron-beam hardening | Elektronenstrahlhärten |
| el. | electron-beam heating | Elektronenstrahlerwärmung |
| microel. | electron-beam illumination projection | Projektion durch Elektronenbestrahlung |
| microel. | electron-beam imaging | Bilderzeugung durch Elektronenstrahl |
| microel. | electron-beam imaging | Abbildung durch Elektronenstrahl |
| el. | electron-beam instrument | Elektronenstrahlapparat |
| automat. | electron-beam instrument | Elektronenstrahlinstrument |
| earth.sc., el. | electron-beam instrument | Elektronenstrahler |
| phys. | electron-beam interference | Elektronenstrahlinterferenz |
| microel. | electron-beam lithography | Elektronenstrahllithografie |
| microel. | electron-beam lithography machine | lithografische Elektronenstrahlbearbeitungsanlage |
| microel. | electron-beam lithography system | Elektronenstrahlschreiber |
| microel. | electron-beam lithography system | lithografische Elektronenstrahlanlage |
| tech. | electron-beam machining | Elektronenstrahlbearbeitung |
| el. | electron-beam magnetometer | Elektronenstrahlmagnetometer |
| tech. | electron-beam magnetometer | Elektronenstrahl-Magnetometer |
| tech. | electron-beam magnetron | Elektronenstrahlmagnetron |
| microel. | electron-beam mask generator | Elektronenstrahlmaskenschreiber |
| microel. | electron-beam mask making capacity | Maskenherstellungskapazität der Elektronenstrahlanlage |
| microel. | electron-beam mask making machine | Elektronenstrahlmaskenschreiber |
| microel. | electron-beam mask making system | Elektronenstrahlmaskenschreiber |
| microel. | electron-beam memory | Elektronenstrahlspeicher |
| microel. | electron-beam microfabrication | elektronenstrahllithografische Mikrostrukturierung |
| microel. | electron-beam microfabrication | Mikrostrukturherstellung durch Elektronenstrahlen |
| microel. | electron-beam microfabrication equipment | Elektronenstrahlanlage für die Herstellung von Mikrostrukturen |
| microel. | electron-beam microlithography machine | Elektronenstrahlschreiber |
| automat. | electron-beam oscillograph | Elektronenstrahloszillograf |
| tech. | electron-beam oscilloscope | Elektronenstrahloszilloskop |
| automat. | electron-beam parametric amplifier | parametrischer Elektronenstrahlverstärker |
| microel. | electron-beam patterning | Elektronenstrahlstrukturierung |
| el. | electron-beam photo-resist exposure | Elektronenstrahlbelichtung eines Fotolackes Photolackes |
| microel. | electron-beam projector | Elektronenstrahlbildprojektor |
| microel. | electron-beam pulse | Elektronenstrahlimpuls |
| microel. | electron-beam recording | Elektronenstrahlaufzeichnung |
| tech. | electron-beam scanner | Kathodenstrahlenabtaster |
| tech. | electron-beam scanning | Elektronenstrahl-Abtastung |
| gen. | electron-beam scanning pencil | Elektronenstrahlabtaster |
| met. | electron-beam scanning system | Elektronenstrahl-Abtastsystem |
| el. | electron-beam-sensitive diffusion mask | elektronenstrahlempfindliche Diffusionsmaske |
| microel. | electron-beam spot size | Punktstrahldurchmesser des Elektronenstrahls |
| tech. | electron-beam switch | Elektronenstrahlschalter |
| automat. | electron-beam technology | Elektronenstrahltechnologie |
| microel. | electron-beam technology | Elektronenstrahltechnik |
| el. | electron-beam transmission efficiency | Strahltransmission |
| automat. | electron-beam treatment | Elektronenstrahlbehandlung |
| el. | electron-beam tube | Elektronenstrahlröhre |
| meas.inst. | electron-beam tube | Oszillografenröhre |
| meas.inst. | electron-beam tube | Braunsche Röhre |
| meas.inst. | electron-beam tube | Katodenstrahlröhre |
| antenn. | electron-beam valve | Elektronenstrahlröhre |
| met. | electron-beam welding | EB-Schweißen |
| construct. | electron-beam welding | Elektronenstrahlschweißen |
| gen. | electron-beam welding EBW | Elektronenstrahlschweißen |
| microel. | electron-beam writing directly on chip | Direktstrukturierung des Chips durch Elektronenstrahlen |
| microel. | electron-beam writing technique | Elektronenstrahlbelichtungsverfahren |
| microel. | electron-beam-written pattern | elektronenstrahlbelichtete Struktur |
| microel. | electron-optical principle of forming shaped square electron beams | elektronenoptisches Prinzip der Erzeugung von Flächenstrahlen |
| hi.energ. | extended electron beam | breiter Elektronenstrahl |
| microel. | finely focussed 2000 Ä diameter electron beam | feinfokussierter Elektronenstrahl von 2000 Ä Durchmesser |
| tech. | focusing of an electron beam | Konzentration eines Elektronenbuendels |
| tech. | focusing of an electron beam | Fokussierung eines Elektronenstrahles |
| microel. | half-micrometre-diameter electron beam | Elektronenstrahl mit 0,5 μm Durchmesser |
| el. | high energy electron beam | Hochenergie-Elektronenstrahl |
| nucl.phys. | high power electron beam gun | Hochleistungs-Elektronenstrahlkanone |
| nucl.phys. | high power strip electron beam gun | linienbestrahlende Hochleistungs-Elektronenstrahlkanone |
| microel. | high-resolution electron-beam lithography | hochauflösende Elektronenstrahllithografie |
| microel. | imaging by electron beam | Bilderzeugung durch Elektronenstrahl |
| microel. | imaging by electron beam | Abbildung durch Elektronenstrahl |
| tech. | intensity of electron beam | Kathodenstrahl intensitaet |
| microel. | interaction of a focussed electron beam with a polymer film | Wechselwirkung eines fokussierten Elektronenstrahls mit einer Polymerschicht |
| microel. | manufacturing electron-beam exposure system | Elektronenstrahlbelichtungsanlage für Produktionszwecke |
| microel. | micron-sized electron-beam probe | Elektronenstrahlsonde mit einem Durchmesser im Mikrometerbereich |
| tech. | modulation of the electron beam | Modulation des Elektronenstrahls |
| therm.energ. | multi-beam electron gun | Mehrstrahl-Elektronenkanone |
| microel. | multiple electron beams | mehrfache Elektronenstrahlen |
| microel. | pattern by electron beam | durch Elektronenstrahl strukturieren |
| microel. | pattern by electron beam | elektronenlithografisch strukturieren |
| microel. | position the wafer underneath the electron beam | den Wafer unter dem Elektronenstrahl positionieren |
| microel. | primary electron beam | Primärelektronenstrahl |
| microel. | primary pattern generation with a serial electron beam | Primärstrukturerzeugung mit einem seriellen Elektronenstrahl |
| microel. | project step-and-repeat electron-beam lithography machine | elektronenstrahllithografische Projektions-Step-und-Repeat-Anlage |
| microel. | pulsed electron beam | Impulselektronenstrahl |
| microel. | rastering electron beam | Rasterelektronenstrahl |
| earth.sc. | relativistic electron beam | relativistischer Elektronenstrahl |
| hi.energ. | relativistic-electron-beam ring | REB-Ring |
| microel. | scan an electron beam | einen Elektronenstrahl rasterartig führen (um eine Maskenstruktur zu schreiben) |
| microel. | scan each subfield by the electron beam in a raster | jedes Unterfeld mit dem Elektronenstrahl abrastern (rasterförmig abtasten) |
| microel. | scan the electron beam over registration marks | das Elektronenstrahlbündel rasterförmig über die Feinjustiermarken führen |
| microel. | scan the electron beam over several wafer alignment marks | mit dem Elektronenstrahl mehrere Waferjustiermarken abtasten |
| microel. | scan the electron beam through the vicinity of the mark | mit dem Elektronenstrahl die Umgebung der Marke abtasten |
| microel. | scanning electron beam | Rasterelektronenstrahl |
| tech. | scanning electron beam | abgetasteter Elektronenstrahl |
| earth.sc., el. | scanning electron beam gun | rasternde Elektronenstrahlkanone |
| microel. | scanning electron-beam exposure system | Rasterelektronenstrahlbelichtungsanlage |
| microel. | scanning electron-beam generator | Rasterelektronenstrahlbildgenerator |
| microel. | scanning electron-beam lithography | Rasterelektronenstrahllithografie |
| microel. | scanning electron-beam system | Rasterelektronenstrahlanlage |
| microel. | scanning of the incident electron beam across the specimen surface | Abrastern der Probenoberfläche mit dem einfallenden Elektronenstrahl |
| microel. | serial electron-beam lithography | serielle Elektronenstrahllithografie |
| microel. | serial electron-beam writing | serielles Schreiben mit Elektronenstrahl |
| microel. | square electron beam | Elektronenstrahl mit quadratisch begrenztem Querschnitt |
| microel. | step the electron beam by 0.5 μm in the x-direction | den Elektronenstrahl schrittweise um 0,5 μm in x-Richtung führen |
| earth.sc., el. | strip electron beam gun | flächenbestrahlende Elektronenstrahlkanone |
| microel. | switch the electron beam on or off at any point | den Elektronenstrahl in einem beliebigen Punkt hell- oder dunkeltasten |
| microel. | turn the electron beam on and off along each raster line as required | in jedem Rasterstreifen den Elektronenstrahl nach Maßgabe hell- und dunkeltasten |
| microel. | variable shaped electron beam | variabler Flächenstrahl |
| microel. | variably shaped scanning electron beam | Formstrahl eines Rasterelektronenmikroskops |
| microel. | vector scan electron-beam machine | Vektorscan-Elektronenstrahlanlage |
| microel. | writing with an electron beam | Bearbeiten mit Elektronenstrahl (ES-Lithografie) |
| microel. | writing with an electron beam | Schreiben mit Elektronenstrahl (ES-Lithografie) |