Terms containing electron beam scanning

Subject	English	German
microel.	direct writing of the device pattern with a scanning electron beam	Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl
opt.	electron beam scanning	Abtastung durch Elektronenstrahl
therm.energ.	electron beam scanning system	Elektronenstrahl-Abtastsystem
opt.	electron scanning beam	Elektronenabtaststrahl
tech.	electron-beam scanning	Elektronenstrahl-Abtastung
gen.	electron-beam scanning pencil	Elektronenstrahlabtaster
met.	electron-beam scanning system	Elektronenstrahl-Abtastsystem
microel.	scan an electron beam	einen Elektronenstrahl rasterartig führen (um eine Maskenstruktur zu schreiben)
microel.	scan each subfield by the electron beam in a raster	jedes Unterfeld mit dem Elektronenstrahl abrastern (rasterförmig abtasten)
microel.	scan the electron beam over registration marks	das Elektronenstrahlbündel rasterförmig über die Feinjustiermarken führen
microel.	scan the electron beam over several wafer alignment marks	mit dem Elektronenstrahl mehrere Waferjustiermarken abtasten
microel.	scan the electron beam through the vicinity of the mark	mit dem Elektronenstrahl die Umgebung der Marke abtasten
microel.	scanning electron beam	Rasterelektronenstrahl
tech.	scanning electron beam	abgetasteter Elektronenstrahl
earth.sc., el.	scanning electron beam gun	rasternde Elektronenstrahlkanone
microel.	scanning electron-beam exposure system	Rasterelektronenstrahlbelichtungsanlage
microel.	scanning electron-beam generator	Rasterelektronenstrahlbildgenerator
microel.	scanning electron-beam lithography	Rasterelektronenstrahllithografie
microel.	scanning electron-beam system	Rasterelektronenstrahlanlage
microel.	scanning of the incident electron beam across the specimen surface	Abrastern der Probenoberfläche mit dem einfallenden Elektronenstrahl
microel.	variably shaped scanning electron beam	Formstrahl eines Rasterelektronenmikroskops
microel.	vector scan electron-beam machine	Vektorscan-Elektronenstrahlanlage