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Terms containing electron beam patterning | all forms | exact matches only | in specified order only
SubjectEnglishGerman
microel.direct wafer patterning with an electron beamdirekte Waferstrukturierung mit einem Elektronenstrahl
microel.electron beam patterning at final sizeElektronenstrahlstrukturierung in endgültiger Größe
microel.electron-beam exposure for patterningElektronenstrahlbelichtung zur Strukturierung
microel.electron-beam patterningElektronenstrahlstrukturierung

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