| English | German |
| active down-scaling | aktive Verkleinerung (der vertikalen Einzelelementabmessungen in einem Chip) |
| down scaling of structural dimensions | Verkleinerung der Strukturabmessungen |
| down-scaling | maßstabgerechte Verkleinerung (von Einzelelementen) |
| passive down-scaling | passive Skalierung (Verkleinerung der Strukturbreiten) |