| Subject | English | German |
| microel. | active down-scaling | aktive Verkleinerung (der vertikalen Einzelelementabmessungen in einem Chip) |
| life.sc. | down scaling method | Verfahren zur Maßstabreduzierung |
| microel. | down scaling of structural dimensions | Verkleinerung der Strukturabmessungen |
| tech. | down-scaling | Untersetzung |
| microel. | down-scaling | maßstabgerechte Verkleinerung (von Einzelelementen) |
| microel. | passive down-scaling | passive Skalierung (Verkleinerung der Strukturbreiten) |