Terms containing deviation value

Subject	English	German
tech.	deviation from desired value	Sollwertabweichung
automat.	deviation from nominal value	Abweichung vom Sollwert
econ.	deviation of prices from value	Abweichung der Preise vom Wert
microel.	deviation of the photoresist thickness from the mean value	Abweichung der Fotoresistdicke vom Mittelwert
phys.	deviation value	Regelabweichung
automat.	deviation value	Abweichungsgröße