| Subject | English | German |
| opt. | continuous coverage of an area | kontinuierliche Erfassung eines Gebietes |
| commun., IT | cost-effective coverage of densely populated areas | kostendeckende Versorgung dichtbevölkerter Gebiete |
| life.sc. | coverage of areas | Gebietseinteilung |
| microel. | percentage area of coverage by the pattern | Bedeckungsgrad (Anteil der zu belichtenden Strukturfläche an der Gesamtfläche) |