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alignment targets
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Subject
English
German
microel.
array of
alignment targets
on a wafer
Justiermarkenanordnung auf einem Wafer
microel.
bring
alignment targets
into coincidence with targets on the wafer
Justiermarken mit den Marken auf dem Wafer zur Deckung bringen
microel.
incorporate
alignment targets
in each mask or reticle
Justiermarken in jeder Maske oder Belichtungsschablone einfügen
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