Subject | English | German |
el. | V-groove isolation | vertikales Ätzen |
el. | V-groove isolation | VATE-Technik |
microel. | V-groove isolation with polysilicon back fill | VIP-Technik (Isolationstechnik, die zur lateralen Isolation der Bauelemente einer integrierten Schaltung eine Polysiliziumschicht verwendet) |