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Step and
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Subject
English
German
microel.
die
step-and
-repeat distance
Einzelbildabstand im Step-und-Repeat-Feld
microel.
direct insertion into the
step-and
-repeat camera
Direkteingabe in den Fotorepeater
microel.
direct
step-and
-repeat system
Fotorepeater für direkte Waferbelichtung
microel.
direct
step-and
-repeat system
Scheibenrepeater
microel.
expose in a
step-and
-repeat fashion
im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
microel.
expose 5 mm x 5 mm fields in
step-and
-repeat raster-scan fashion
5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
microel.
first generation
step-and
-repeat exposure system
Fotorepeateranlage der ersten Generation
(für Maskenherstellung)
opt.
four-barrel
step and
repeat camera
Vierfachrepeater
(machine)
opt.
four-barrel
step and
repeat camera
vierfache Repeaterkamera
(machine)
microel.
imaging process of a
step-and
-repeat aligner
Abbildungsprozeß eines Scheibenrepeaters
microel.
ion-optical
step-and
-repeat system
ionenoptische Step-und-Repeat-Anlage
opt.
multibarrel
step and
repeat camera
mehrfache Repeaterkamera
(machine)
opt.
multibarrel
step and
repeat camera
Mehrfachrepeater
(machine)
microel.
multibarrel
step-and
-repeat system
Mehrfachrepeater
microel.
one-to-one
step and
repeat system
Step-und-Repeat-Anlage mit 1:1-Abbildung
microel.
optical multiple image
step-and
-repeat reduction camera
Fotorepeater
microel.
optical multiple image
step-and
-repeat reduction camera
Fotorepeaterkamera
microel.
optical
step-and
-repeat camera
Fotorepeater
microel.
optical
step-and
-repeat imaging system
Fotorepeateranlage
microel.
partitioning of the wafer image by
step-and
-repeat projection
Aufteilung des Waferbildes durch schrittweise Projektionsübertragung
microel.
partitioning of the wafer image by
step-and
-repeat projection
Unterteilung des Waferbildes durch schrittweise Projektionsübertragung
microel.
photo
step-and
-repeat on wafer
Direktbelichtung des Wafers durch Fotorepeater
microel.
produce arrays of images by photoreduction with a
step-and
-repeat camera
regelmäßige Bildfelder durch Verkleinerung mit einem Fotorepeater herstellen
microel.
project
step-and
-repeat electron-beam lithography machine
elektronenstrahllithografische Projektions-Step-und-Repeat-Anlage
microel.
project
step-and
-repeat machine
Justier- und Belichtungsanlage mit Repeateinrichtung
microel.
project
step-and
-repeat machine
Scheibenrepeater
microel.
project
step-and
-repeat machine
Projektionsscheibenrepeater
microel.
project
step-and
-repeat machine
Projektions- und Überdeckungsrepeater
microel.
reduce the reticle on
step-and
-repeat equipment
das Retikel auf einem Fotorepeater verkleinern
microel.
reduction lens of a
step-and
-repeat aligner
Verkleinerungsobjektiv eines Projektions- und Überdeckungsrepeaters
microel.
second-generation
step-and
-repeat aligner
Scheibenrepeater der zweiten Generation
microel.
single-head
step-and
-repeat camera
Einfachrepeater
microel.
six-barrel
step-and
-repeat microreduction printer
Fotorepeater mit sechs Mikroprojektionssystemen
microel.
step and
expose the matrix of marks
die Markenmatrix nach dem Step-und-Repeat-Verfahren belichten
athlet.
step and
jump
Dreisprung
athlet.
step and
jump
irischer Dreisprung
athlet.
step and
jump
Dreisprung aus dem Stand
athlet.
step and
jump
Germanendreisprung
athlet.
step and
jumper
Dreispringer
microel.
step and
repeat
schachbrettartig vervielfältigen
microel.
step and
repeat
im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen
microel.
step and
repeat across the wafer
im Step-und-Repeat-Verfahren auf dem Wafer mehrfach reproduzieren
IT
step and
repeat camera
Wafer-Stepper
opt.
step and
repeat camera
Repetierkamera
opt.
step and
repeat camera
Repeaterkamera
microel.
step and
repeat circuit patterns directly on wafers
Strukturen im Step-und-Repeat-Verfahren direkt auf Wafer übertragen
microel.
step and
repeat circuit patterns directly on wafers
Schaltkreisstrukturen im Additionsverfahren direkt auf Wafer verkleinert abbilden
microel.
step and
repeat images across
on
the wafer
Strukturbilder auf die Halbleiterscheibe im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen
opt.
step and
repeat mask making
Maskenherstellung nach dem Fotorepetierverfahren
opt.
step and
repeat microreduction printer
Kopiermaschine
microel.
step and
repeat on the wafer
im Step-und-Repeat-Verfahren auf dem Wafer schachbrettartig vervielfältigen
R&D.
step and
repeat on wafer
schrittweise optische Direktbelichtung
R&D.
step and
repeat on wafer
schrittweise Direktbelichtung auf dem Wafer
microel.
step and
-repeat operation
Fotorepeattechnik
opt.
step and
repeat operation
Fotorepetiertechnik
opt.
step and
repeat operation
Fotorepetierverfahren
(microreduction photographic process)
microel.
step and
-repeat operation
Fotorepeatverfahren
microel.
step and
-repeat projection aligner
Scheibenrepeater
microel.
step and
-repeat projection aligner
Projektionsscheibenrepeater
microel.
step and
-repeat projection aligner
Projektions- und
Überdeckungsrepeater
microel.
step and
-repeat reduction projection system
Scheibenrepeater
microel.
step and
-repeat reduction projection system
Großfeldstepper
microel.
step and
-repeat reduction projection system
Projektions- und
Überdekkungsrepeater
(für direkte Waferbelichtung)
microel.
step and
-repeat reduction projection system
Wafer-Stepper
microel.
step-and
-align optical wafer exposure system
Uberdekkungsrepeater
microel.
step-and
-align optical wafer exposure system
Scheibenrepeater
microel.
step-and
-repeat
Verfahren zur Herstellung von Wiederholstrukturen
microel.
step-and
-repeat
Step-und-Repeat-Verfahren
(Additionsverfahren: Verkleinern-Wiederholen)
microel.
step-and
-repeat aligner
Projektions- und
Überdeckungsrepeater
(alignment system)
microel.
step-and
-repeat aligner
Scheibenrepeater
(alignment system)
microel.
2:1
step-and
-repeat aligner
Überdeckungsrepeater mit einer Projektionsverkleinerung von 2:1
microel.
step-and
-repeat array data
Positionierdaten für den Step-und-Repeat-Vorgang
microel.
step-and
-repeat array distortion on the mask
Matrixverzerrung auf der vom Repeater hergestellten Maske
cultur., commun.
step-and
-repeat camera
Schrittkamera
cultur., commun.
step-and
-repeat camera
Schrittschaltkamera
microel.
10:1
step-and
-repeat camera
Repeater mit zehnfacher Verkleinerung
el.
step-and
-repeat camera
Step-and-Repeat-Kamera
microel.
10:1
step-and
-repeat camera
Repeatkamera mit zehnfacher Verkleinerung
cultur.
step-and
repeat camera
Imagerepeater
microel.
10:1
step-and
-repeat camera
Fotorepeater mit zehnfacher Verkleinerung
microel.
step-and
-repeat equipment
Step-und-Repeat-Anlage
microel.
step-and
-repeat equipment
Repeateranlage
microel.
step-and
-repeat error
Schrittpositionierfehler
(eines Repeaters)
microel.
step-and
-repeat exposure
schrittweise Belichtung
microel.
step-and
-repeat exposure directly on the wafer
direkte Waferbelichtung nach dem Step-und-Repeat-Verfahren
microel.
step-and
-repeat exposure system
Belichtungsanlage mit Step-und-Repeat-Einrichtung
microel.
step-and
-repeat exposure system
Fotorepeateranlage
microel.
step-and
-repeat format
Format des schrittweisen Belichtungsverfahrens
microel.
step-and
-repeat generation of photomasks
Herstellung von Fotoschablonen nach dem Step-und-Repeat-Verfahren
(mit schrittweiser Belichtung)
microel.
step-and
-repeat mask making
Maskenherstellung nach dem Repeatverfahren
microel.
step-and
-repeat master mask
nach dem Step-und-Repeat-Verfahren hergestellte Originalschablone
microel.
step-and
-repeat 10:1 microreduction camera system
10:1-Fotorepeater
microel.
step-and
-repeat microreduction photographic process
Fotorepeatprozeß
microel.
step-and
-repeat microreduction printer
Fotorepeater mit Projektionsverkleinerung
microel.
step-and
-repeat optical lithography system
fotolithografische Repeateranlage
microel.
step-and
-repeat optical lithography system
lithografische Fotorepeateranlage
microel.
step-and
-repeat optical projection machine
optischer Projektionsrepeater
microel.
step-and
-repeat optical projection unit
optischer Projektionsrepeater
microel.
step-and
-repeat optical-mechanical distortion
optisch-mechanische Verzeichnung des Step-und-Repeat-Systems
microel.
step-and
-repeat photomasking equipment
Fotorepeatanlage für Schablonenherstellung
microel.
step-and
-repeat placement error
Schrittpositionierfehler
microel.
step-and
-repeat printing of the subsequent matrix array
schrittweise Belichtung der nachfolgenden Matrixanordnung
(mit einem Scheibenrepeater)
microel.
step-and
-repeat projection lithography system
lithografische Projektionsanlage mit Step-und-Repeat-Einrichtung
microel.
step-and
-repeat projection printing method
Überdeckungs- und
Projektionsrepeatverfahren
microel.
step-and
-repeat projection with demagnification 10:1
schrittweise Projektionsübertragung mit zehnfacher Bildverkleinerung
microel.
step-and
-repeat reduction
Verkleinerung mit Step-und-Repeat-Verfahren
(zu einer Originalmaske)
microel.
step-and
-repeat reticle
Retikel für Repeatverfahren
microel.
step-and
-repeat system
Fotorepeatanlage
microel.
10:1
step-and
-repeat system
Projektionsrepeater mit zehnfacher Verkleinerung
microel.
step-and
repeat the pattern
verkleinerte Wiederholstrukturen anfertigen
microel.
step-and
-repeat time
Vervielfältigungszeit
(des Fotorepeaters)
microel.
step-and
-repeat wafer imaging
Waferstrukturierung firn Step-und-Repeat-Verfahren
microel.
step-and
-repeat wafer imaging
Übertragung der Bilder im Step-und-Repeat-Verfahren auf den Wafer
(s.a. wafer stepping)
microel.
step-and
-repeat wafer imaging
schrittweise Bildübertragung auf den Wafer
microel.
step-and
-repeat wafer imaging
Waferbelichtung firn Step-und-Repeat-Verfahren
microel.
step-and
-repeat wafer imaging system
Projektions- und
Überdekkungsrepeater
(für direkte Waferbelichtung)
microel.
step-and
-repeat wafer imaging system
Großfeldstepper
microel.
step-and
-repeat wafer imaging system
Scheibenrepeater
microel.
step-and
-repeat wafer imaging system
Wafer-Stepper
microel.
step-and
-repeat X-ray aligner
Röntgenüberdeckungsrepeater
microel.
step-and
-repeat X-ray machine
Röntgenrepeateranlage
microel.
step-and
-repeat-print
im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
(kopieren)
microel.
use the exposure process in a
step and
peat mode with individual alignment of each chip area
eine schrittweise Belichtung mit Einzeljustierung jeder Chipfläche durchführen
microel.
wafer
step-and
-repeat exposure system
Projektions- und
Überdeckungsrepeateranlage für Waferbelichtung
microel.
10x optical
step-and
-repeat camera
Fotorepeater mit 10facher Bildverkleinerung
microel.
X-ray
step-and
-repeat machine
Röntgenrepeateranlage
microel.
X-ray
step-and
-repeat printer
Röntgenbelichtungsanlage mit Repeateinrichtung
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