Terms for subject Microelectronics containing Patterns

English	German
align the patterns with respect to one another	die Strukturen zueinander justieren
build up patterns by repeated generation of subfields	Strukturen durch wiederholte Herstellung von Teilfeldern zusammensetzen
define patterns with geometries as small as 0.2 micrometre	Strukturen mit Elementbreiten bis zu 0,2 μm scharf abbilden
definition of resist patterns down to submicron dimensions	Auflösung von Resiststrukturen bis in den Submikrometerbereich
delineation of VLSI patterns on silicon wafers	Schreiben von VLSI-Strukturen auf Siliziumwafern (Elektronenstrahllithografie)
expose patterns deep into a thick coating of resist	Strukturen tief in eine dicke Resistschicht hinein exponieren
expose the photoresist on the surface of a wafer to the patterns on a reticle	das Fotoresist auf der Oberfläche eines Wafers mit den Strukturen eines Retikels belichten
generation of patterns by E-beam	Strukturerzeugung durch Elektronenstrahl
generation of patterns by E-beam	Bilderzeugung durch Elektronenstrahl
image patterns on resist-coated wafers	Strukturen auf resistbeschichteten Wafern abbilden
imprint the patterns on the wafer	die Strukturen auf den Wafer aufbelichten
join patterns in adjacent fields properly	Strukturen benachbarter Felder genau zusammensetzen (aneinanderreihen)
load new patterns into test buffers	die Testpuffer mit neuen Mustern laden
overlay a pattern on lower-level patterns eine	Struktur mit darunterliegenden Strukturen zur Deckung bringen
overlay the patterns on the wafer	die Strukturen auf dem Wafer überdecken
project IC patterns with a 5:1 reduction ratio onto a wafer	Schaltkreisstrukturen mit 5facher Verkleinerung auf einen Wafer projizieren
record differences between adjacent chip patterns by size and location	Unterschiede zwischen benachbarten Chipstrukturen nach Größe und Lage registrieren
reduction projection of individual patterns directly onto wafers	verkleinerte Projektion von Einzelstrukturen direkt auf Wafer
replicate patterns well into the submicron level	Strukturen bis weit in den Submikrometerbereich reproduzieren
replicate submicron patterns over large areas	Submikrometerstrukturen auf großen Flächen duplizieren (reproduzieren)
reproduce patterns by conventional photolithography	Strukturen mit der herkömmlichen Fotolithografie reproduzieren (duplizieren)
step and repeat circuit patterns directly on wafers	Strukturen im Step-und-Repeat-Verfahren direkt auf Wafer übertragen
step and repeat circuit patterns directly on wafers	Schaltkreisstrukturen im Additionsverfahren direkt auf Wafer verkleinert abbilden
substitute test patterns into the array	Teststrukturen in das Anordnungsfeld einfügen
superposition on a substrate of patterns from several masks to a precision of 0.1 μm	Überdeckung von Strukturen verschiedener Masken auf einem Substrat mit einer Genauigkeit von 0,1 μm
write patterns at high resolution	Strukturen mit hoher Auflösung schreiben
write the patterns directly onto the wafers to be processed	die Strukturen direkt auf die zu bearbeitenden Wafer schreiben