| Subject | English | Russian |
| Makarov. | method for etching a dielectric layer over a semiconductor substrate | метод травления диэлектрического слоя на полупроводниковой подложке |
| nano | single-layer substrate | однослойная подложка |
| tech. | substrate layer | подложка |
| nat.res. | substrate layer | слой почвенного субстрата (layer of the material composing the soil) |