| Subject | English | Russian |
| el. | aluminum step coverage | алюминиевое покрытие на оксидной ступеньке |
| microel. | metal-step coverage | плёнка металла на ступеньке |
| microbiol., Makarov. | step coverage | покрытие ступеньки |
| el. | step coverage | ступенчатое нанесение плёнок (каждый последующий слой по площади меньше предыдущего; поперечное сечение готовой структуры имеет ступенчатую форму) |
| microel. | step coverage | сглаживание ступеньки |
| microel. | step coverage pattern | тестовая структура для проверки качества нанесения покрытий |