Subject	English	Russian
nano	ion sputtering source	установка ионного напыления
tech.	magnetron sputtering source	магнетронный распылительный источник
nano	sputtering source	установка для напыления
microel.	sputtering source	источник для распыления
Makarov.	sputtering source solid angle	телесный угол вылета частиц при распылении мишени
nano	sputtering-type cluster source	источник образования кластеров распылительного типа