Terms containing scummings

Subject	English	Russian
microel.	ozone induced scumming	образование непроявленный фоторезист из-за присутствия озона
microel.	pattern scumming	ухудшение чёткости рисунка фоторезистной маски
microel.	resist scumming	вспенивание резиста
Makarov.	resist scumming	образование фотохимической вуали