| Subject | English | Russian |
| microel. | micrometer-dimension process | технология ИС с элементами микронных размеров |
| progr. | process dimension | измерение процесса (ssn) |
| progr. | process dimension | размерность процесса (см. ГОСТ Р ИСО/МЭК 15504-1-2009 Приложение А.2 Термины процесса ssn) |