| Subject | English | Russian |
| microel. | planar plasma etch | плазменное травление в планарном реакторе |
| microel. | plasma enhanced dry etch | плазменное сухое травление (eltech.com serrgio) |
| el. | plasma etch | плазмохимическое травление (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) |
| media. | plasma etch | плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) |
| microel. | plasma etch chemistry | плазмохимическое травление |
| microel. | plasma etch cleaning | очистка плазменным травлением |
| tech. | plasma etch process | плазменное травление |
| tech. | plasma-etch machine | установка плазменного травления |
| tech. | plasma-etch photoresist | фоторезист для плазменного травления |