Terms containing plasma- etching reactor

Subject	English	Russian
el.	barrel-reactor plasma etching	плазменное травление в цилиндрическом реакторе
tech.	cylindrical plasma etching reactor	барабанный реактор (для плазменного травления)
tech.	cylindrical plasma etching reactor	цилиндрический реактор
microel.	cylindrical plasma etching reactor	барабанный плазменный реактор
microel.	cylindrical plasma etching reactor	цилиндрический плазменный реактор
tech.	cylindrical plasma etching reactor	барабанный реактор для плазменного травления
Makarov.	cylindrical plasma etching reactor	цилиндрический реактор для плазменного травления
microel.	planar-plasma etching reactor	планарный реактор для плазменного травления
tech.	planar plasma etching reactor	планарный реактор для плазменного травления
tech.	planar plasma-etching reactor	планарный реактор для плазменного травления
microel.	plasma etching reactor	плазменный реактор травления
tech.	plasma etching reactor	реактор для плазменного травления
tech.	plasma reactor etching	плазменное травление
tech.	plasma-etching reactor	реактор для плазменного травления
microel.	radial-flow plasma etching reactor	плазменный реактор травления с радиальным потоком реактивных