плазмохимическое травление(управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления)
плазмохимическое травление(управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления)