Subject	English	Russian
microel.	diffusion from a planar source	диффузия из ограниченного источника
microel.	planar diffusion	диффузия для формирования планарного полупроводникового прибора
el.	planar-source diffusion	диффузия из плоско-параллельного источника
Makarov.	planar-source diffusion	диффузия из плоскопараллельного источника