Terms containing pattern fabrication

Subject	English	Russian
el.	fine-pattern fabrication	формирование рисунка с элементами уменьшенных размеров
microel.	fine-pattern fabrication	формирование рисунка с уменьшенными элементами
Makarov.	modeling mask fabrication and pattern transfer distortions for EPL stencil masks	моделирование изготовления масок и искажений при переносе рисунка для шаблонных масок при электронно-лучевой литографии
el.	pattern fabrication	формирование рисунка