| Subject | English | Russian |
| el. | overlay precision | ошибка совмещения при наложении следующих друг за другом слоёв |
| media. | overlay precision | точность совмещения следующих друг за другом слоёв (в многослойной структуре, например, в многослойной печатной плате) |
| microel. | precision overlay | прецизионное совмещение |