Terms containing microelectromechanical component

Subject	English	Russian
nano	microelectromechanical component	микроэлектромеханический компонент
el.	microelectromechanical system component	компонент на основе микроэлектромеханических систем
el.	microelectromechanical system-based component	компонент на основе микроэлектромеханических систем