Terms containing half-layer

Subject	English	Russian
met.	half layer	слой половинного ослабления
Makarov.	half layer	полупоглощающий слой
media.	half-layer resist process	метод создания антиотражательного покрытия из специального полимера, который наносится отдельно, а экспонируется и проявляется совместно с покрывающим его фоторезистом (в оптической литографии)