| Subject | English | Russian |
| tech. | bombardment enhanced etch rate | скорость травления, увеличенная облучением |
| el. | differential etch rate | дифференциальная скорость травления |
| tech. | etching rate | скорость травления |
| el. | n-etch rate | скорость травления полупроводника n-типа |
| media. | sputter etch rate | скорость распыления (напр., материала на мишень для фотокатодных передающих трубок) |
| nucl.phys., radiat. | track etching rate | скорость травления |