Terms containing electron-beam system

Subject	English	Russian
el.	computer-controlled electron-beam system	установка электронно-лучевой литографии с управлением от ЭВМ
Makarov.	computer-controlled electron-beam system	установка для электронно-лучевой литографии с управлением от ЭВМ
el.	electron beam deflection system	система отклонения электронного луча
el.	electron beam exposure system	электронно-лучевая установка для экспонирования (резиста)
tech.	electron beam exposure system	система электронно-лучевого экспонирования
Makarov.	electron beam lithography system	установка электронно-лучевой литографии
el.	electron beam scanning system	система сканирования электронного луча
tech.	electron beam system	электроннолучевая система
el.	electron-beam exposure system	установка электронно-лучевого экспонирования
el.	electron-beam mask system	электронно-лучевая установка для изготовления фотошаблонов
microel.	electron-beam projection system	установка электронно-лучевой проекционной литографии
met.	electron-beam system	электроннолучевая система
microel.	high-resolution electron-beam system	электронно-лучевая установка с высоким разрешением
el.	manufacturing electron-beam exposure system	производственная электронно-лучевая система экспонирования
tech.	manufacturing electron-beam exposure system	производственная электронно-лучевая экспонирующая система
microel.	reducing electron-beam projection system	установка электронно-лучевой проекционной литографии с уменьшением изображения
microel.	variable-shaped electron-beam exposure system	установка электронно-лучевой литографии с изменяемым сечением электронного луча