Terms containing electron beam masking

Subject	English	Russian
quant.el.	electron beam masking	экранирование электронного пучка
quant.el.	electron beam masking	маскирование электронного пучка
el.	electron-beam generated mask	фотошаблон, изготовленный по электронно-лучевой технологии
microel.	electron-beam generated mask	шаблон, полученный электронно-лучевым методом (key2russia)
Makarov.	electron-beam mask	шаблон для электронно-лучевой литографии
el.	electron-beam mask generator	электронно-лучевой генератор изображений фотошаблонов
el.	electron-beam mask system	электронно-лучевая установка для изготовления фотошаблонов