Terms containing dry-etching

Subject	English	Russian
microel.	dry etch	сухое травление (serrgio)
tech.	dry etch technique	технология сухого травления
el.	dry etching	сухое травление (напр., плазменное)
tech.	dry etching	сухое травление
tech.	dry etching process	сухое травление
tech.	dry etching system	сухое травление
tech.	dry etching technique	технология сухого травления
el.	dry-etching apparatus	установка сухого травления
tech.	dry-etching reactor	реактор для сухого травления
mil., avia.	multi-chamber dry etching system	многокамерная система сухого травления
microel.	photo-enhanced chemical dry etching	фотостимулированное химическое сухое травление
microel.	plasma enhanced dry etch	плазменное сухое травление (eltech.com serrgio)
Makarov.	plasmaless dry etching	бесплазменное сухое травление