| Subject | English | Russian |
| microel. | drive-in diffusion step | разгонка примеси |
| el. | drive-in step of diffusion | стадия разгонки примесей |
| el. | drive-in step of diffusion | вторая стадия двухстадийной диффузии |
| tech. | drive-in step of diffusion | разгонка примеси (вторая стадия двухстадийной диффузии) |