| Subject | English | Russian |
| microel. | alignment machine | установка литографии |
| microel. | alignment machine | установка совмещения (и экспонирования) |
| tech. | alignment machine | установка совмещения (при экспонировании полупроводниковых ИС) |
| automat. | out-of-alignment machine | станок, потерявший геометрическую точность |