| Subject | English | Russian |
| Makarov. | VLSI process | технология производства сверхбольших ИС |
| tech. | VLSI process | технология СБИС (производства) |
| Makarov. | VLSI process | технология сверхбольших ИС (технология СБИС) |
| Makarov. | VLSI process | технология СБИС (технология сверхбольших ИС) |
| microel. | VLSI process design flow | маршрут проектирования СБИС |