распыляемый катод gen.

[Abelle]

Помогите, пожалуйста, перевести "распыляемый катод" данном контексте:
Причиной обогащения поверхностного слоя атомами кислорода и увеличения толщины слоя, содержащего кислород, является не только его присутствие в остаточной атмосфере рабочей камеры, но и наличие оксидных пленок на поверхностях мишени и распыляемого катода.
Мой вариант перевода:
Enrichment of the surface layer with oxygen atoms and thickness increase in the layer containing oxygen, occur not only due to its presence in the residual atmosphere of the working chamber but also due to the oxide films on the target surfaces and the sputtering cathode.
Спасибо!

[PicaPica]

Как вариант:
and the cathode being sputtered

И запятая мне кажется лишней

[PicaPica]

И "поверхностях" относится как к мишени, так и к катоду.