|
Subject: Блок питания с ключом двунаправленного движения катодного пятна. tech. Установка ВАТТ1600-4ДК предназначена для нанесения комбинированного покрытия, которое может состоящего из слоя металла, слоя соединения этого металла (оксид, нитрид, карбид) и слоя SiOx.Для осаждения слоев металлов и их соединений используется планарный дуговой распылитель. Блок питания дугового испарителя инверторный с ключом двунаправленного движения катодного пятна. Возвратно-поступательное движение катодных пятен вдоль катода осуществляется за счет датчиков крайних положений катодных пятен, что исключает "зависание" катодного пятна по концам катода. Система напуска газа четырехканальная, выполнена на основе регуляторов РРГ -12. Нанесение кремнийорганического слоя SiOx производится в ВЧ разряде - 20-40 кГц, 400-1000В, который зажигается между барабаном с изделиями и антенной, расположенной в центре камеры. Блок питания ВЧ разряда инверторный. спасиба! |
| arc evaporator switching power supply with switch for cathode spot reversible movement? |
| You need to be logged in to post in the forum |