plasmahead; polycold pumps compr.

[millatce]

1) Cryopumps ( FPT Original)

- Maintenance almost zero.
- No regeneration necessary
- Investment costs 50 % of a diffusion pump, 50% of a _polycold_, 10 % of a turbo pump
- Running costs 10% of diffusion pumps and 25% of polycold pumps

2) _Plasmahead_ ( FPT Original) will be used for:

- Etching
- Cleaning
- Activating
- Coating
- Stripping

нет никаких идей на предмет перевода polycold pumps. plasmahead попробовал перевести как плазменная головка.
текст относится к вакуумной технологии. плазма создаётся из реактивного газа, подвергаемого высокочастотному напряжению

заранее спасибо!

[wander_]

По-поводу polycold - похоже таже история что и Xerox - ссылка по теме
http://www.cryosystems.com.ru/CryovacP.htm
по поводу plasmahead -
http://irina1.netfirms.com/NANO3.shtml
http://www.micromachine.narod.ru/tech.htm

[wander_]

В догонку - Установка плазменного травления
http://www.blms.ru/alcatel/mems/mems.htm

[Enote]

фирменные названия обычно не переводятся http://www.schoonoverinc.com/products/polycold/coolsolutions.htm
http://www.flecher.de/flecherengl/html/produkte.html
Впрочем, _wander уже всё расписал :)